@phdthesis{Wegner2017,
  author    = {Thomas Wegner},
  title     = {Comprehensive study of the discharge mode transition in inductively coupled radio frequency plasmas},
  journal    = {Umfangreiche Studie des Moden{\"u}berganges eines induktiv gekoppelten Radiofrequenz Plasmas},
  url       = {https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:gbv:9-002688-8},
  year      = {2017},
  abstract  = {In dieser Arbeit wird der Moden{\"u}bergang einer induktiv gekoppelten Radiofrequenz Entladung im Niederdruck untersucht. Dazu wurde ein umfangreiches Set aus Plasmadiagnostiken eingesetzt, um Plasma- und Prozessparamater zu bestimmen. Mit Hilfe dieser Parameter wurde die Plasmakinetik und insbesondere wichtige Elementarprozesse studiert und die Ursache f{\"u}r den Moden{\"u}bergang identifiziert.},
  language  = {en}
}