TY  - THES
U1  - Dissertation / Habilitation
A1  - Lopatik, Dmitry
T1  - On aspects of plasma surface interactions studied by spectroscopic techniques
N2  - In this work, various aspects of fundamental physics and chemistry of molecular gas discharges are presented with emphasis on the interaction between species, activated by low-pressure plasmas, and surfaces. As already known, synergistic effects of multiple plasma-generated species are responsible for surface modification. However, due to the large number of internal parameters of a discharge and the complex plasma processes the identification of correlations between plasma characteristics and their effects on surfaces are complicated. Therefore, the aim of this thesis is to improve the understanding of several phenomena associated with plasma–surface interactions by measuring or calculating fundamental kinetic, transport or spectroscopic data needed to interpret measurements and hereby, to support some future applications of plasmas.
N2  - Im Rahmen der vorliegenden Arbeit wurden sowohl physikalische als auch chemische Aspekte von molekularen Entladungen untersucht. Sie konzentriert sich auf Umwandlungsprozessen von verschiedenen Spezies, die durch Niederdruckplasmen aktiviert und von der Oberfläche katalysiert werden. Es ist allgemein bekannt, dass synergistische Effekte von mehreren, im Plasma entstandenen Spezies für die Oberflächenmodifikation zuständig sind. Allerdings ist die Anzahl von internen Parametern einer Entladung so hoch und die Effekte sind generell so kompliziert, dass sogar die Identifizierung der Verbindung zwischen Eigenschaften des Plasmas und deren Auswirkungen auf die Oberflächen sehr aufwendig ist. In diesem Zusammenhang das Verständnis von verschiedenen, durch Plasma-Oberflächen-Wechselwirkungen auftretenden Phänomenen zu verbessern, war das Hauptziel dieser Dissertation. Um eine bessere Einsicht zu ermöglichen werden grundlegende kinetische-, spektroskopische- oder Transportdaten interpretiert. Dadurch können auch mehrere verschiedene Anwendungsmöglichkeiten von Plasmen unterstützt werden.
KW  - Plasma
KW  - Gasentladung
KW  - Oberflächenmodifizierung
KW  - Absorptionsspektroskopie
KW  - TDLAS
KW  - QCLAS
KW  - in-situ Diagnostik
KW  - Fragmentation
KW  - Plasma-Oberflächen-Wechselwirkung
KW  - Wand-Abregung-Wahrscheinlichkeit
KW  - Relaxationskinetik
KW  - Adsorption
KW  - Plasma surface interaction
KW  - plasma diagnostics
KW  - absorption spectroscopy
KW  - oxidation processes
KW  - quantum cascade laser
Y2  - 2013
U6  - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:gbv:9-001622-1
UN  - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:gbv:9-001622-1
ER  -