TY  - THES
U1  - Dissertation / Habilitation
A1  - Schäfer, Jan
T1  - Komplexe Polykondensation von Ethylenglykol in einem RF-Niederdruckplasma zur Bildung funktioneller Schichten
N2  - Die vorliegende Arbeit widmet sich der plasmachemischen Herstellung und physikalisch-chemischen Charakterisierung von dünnen organischen Schichten auf der Basis von Ethylenglykol (Präkursor). Die Oberflächen können die Adsorption von Proteinen minimieren und daher als neues biokompatibles Material getestet werden. Im Schwerpunkt der Arbeit liegt die Entwicklung eines plasmachemischen RF-Reaktors (genannt Nevada) und einer innovativen Beschichtungstechnologie TFPD (Temperature Forced Plasma Deposition) als Erweiterung der PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition). Ein Gemisch aus Ethylenglykol und Argon wurde als Modellsystem untersucht. Die Plasmabedingungen und die Oberflächentemperatur wurden optimiert und an Phaseneigenschaften von Ethylenglykol angepasst. Die komplexe Polykondensation steht für die plasmagestützte Umwandlung der Kondensatschicht zu einem stabilen Poly(Ethylenglykol)-ähnlichen Plasmapolymer. Der Prozess wurde durch die simultane Temperaturkontrolle und in situ FTIR-Spektroskopie analysiert. Zur Untersuchung der erzeugten Proben wurden weitere ex situ Oberflächenanalysen wie XPS, AFM, TDS, MALDI, XRD und die optische Ellipsometrie verwendet. Durch die neue Methode TFPD entstehen extrem glatte, amorphe und wasserunlösliche Schichten mit einem Potenzial für die Biokompatibilität.
N2  - The present work is focused on the plasma chemical deposition and physicochemical characterization of thin organic layer based on ethylene glycol (EG, precursor). The coating can minimize an adsorption of proteins on the surface. Herewith it can be proved as a new suitable biocompatible material. The main part of the work is concentrated on the development of an RF plasma reactor (called Nevada) and on an innovative deposition technology TFPD (Temperature Forced Plasma Deposition) extending the conventional PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition). A mixture of ethylene glycol and argon has been studied as a model system. The plasma conditions and the surface temperature have been optimized according to the thermodynamic properties of ethylene glycol. The complex polycondensation represents a plasma enhanced conversion of the condensed film of EG into a stable poly(ethylene glycol)-like plasma polymer. The process has been monitored by means of the simultaneous surface temperature control and in situ FTIR spectroscopy of the film. The diagnostics XPS, AFM, TDS, MALDI, XRD and optical ellipsometry have been applied in order to characterize the samples and their creation. Using the new method TFPD, the samples have been made, their surfaces are characterized by an excellent surface roughness, water insolubility and application potential for biocompatibility.
KW  - Hochfrequenzplasma
KW  - PECVD-Verfahren
KW  - FT-IR-Spektroskopie
KW  - Ethylenglykol
KW  - Polyethylenglykole
Y2  - 2007
U6  - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:gbv:9-000362-2
UN  - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:gbv:9-000362-2
ER  -