@phdthesis{Schaefer2007, author = {Jan Sch{\"a}fer}, title = {Komplexe Polykondensation von Ethylenglykol in einem RF-Niederdruckplasma zur Bildung funktioneller Schichten}, journal = {Complex Polycondensation of Ethylene Glycol in an RF Low Pressure Plasma for Deposition of Functional Layers}, url = {https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:gbv:9-000362-2}, year = {2007}, abstract = {Die vorliegende Arbeit widmet sich der plasmachemischen Herstellung und physikalisch-chemischen Charakterisierung von d{\"u}nnen organischen Schichten auf der Basis von Ethylenglykol (Pr{\"a}kursor). Die Oberfl{\"a}chen k{\"o}nnen die Adsorption von Proteinen minimieren und daher als neues biokompatibles Material getestet werden. Im Schwerpunkt der Arbeit liegt die Entwicklung eines plasmachemischen RF-Reaktors (genannt Nevada) und einer innovativen Beschichtungstechnologie TFPD (Temperature Forced Plasma Deposition) als Erweiterung der PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition). Ein Gemisch aus Ethylenglykol und Argon wurde als Modellsystem untersucht. Die Plasmabedingungen und die Oberfl{\"a}chentemperatur wurden optimiert und an Phaseneigenschaften von Ethylenglykol angepasst. Die komplexe Polykondensation steht f{\"u}r die plasmagest{\"u}tzte Umwandlung der Kondensatschicht zu einem stabilen Poly(Ethylenglykol)-{\"a}hnlichen Plasmapolymer. Der Prozess wurde durch die simultane Temperaturkontrolle und in situ FTIR-Spektroskopie analysiert. Zur Untersuchung der erzeugten Proben wurden weitere ex situ Oberfl{\"a}chenanalysen wie XPS, AFM, TDS, MALDI, XRD und die optische Ellipsometrie verwendet. Durch die neue Methode TFPD entstehen extrem glatte, amorphe und wasserunl{\"o}sliche Schichten mit einem Potenzial f{\"u}r die Biokompatibilit{\"a}t.}, language = {de} }