TY  - THES
U1  - Dissertation / Habilitation
A1  - Dodt, Dirk
T1  - Determination of the Electron Energy Distribution Function of a Low Temperature Plasma from Optical Emission Spectroscopy
N2  - The experimental determination of the electron energy distribution of a low pressure glow discharge in neon from emission spectroscopic data has been demonstrated. The method extends an approach by Fischer and Dose [5]. The spectral data were obtained with a simple overview spectrometer and analyzed using a strict probabilistic, Bayesian data analysis. It is this Integrated Data Analysis (IDA) approach, which allows the significant extraction of non-thermal properties of the electron energy distribution function (EEDF). The results bear potential as a non-invasive alternative to probe measurements. This allows the investigation of spatially inhomogeneous plasmas (gradient length smaller than typical probe sheath dimensions) and plasmas with reactive constituents. The diagnostic of reactive plasmas is an important practical application, needed e.g. for the monitoring and control of process plasmas. Moreover, the experimental validation of probe theories for magnetized plasmas as a long-standing topic in plasma diagnostics could be addressed by the spectroscopic method.
N2  - Die experimentelle Bestimmung der Elektronenenergieverteilungsfunktion einer Niederdruck Glimmentladung in Neon aus emissionspektroskopischen Daten wurde gezeigt. Die Methode erweitert einen Ansatz von Fischer und Dose [5]. Die spektroskopischen Daten wurden mit einem einfachen Uebersichtsspektrometer gemessen und mit Hilfe eines strikten probabalistischen Bayes'schen Ansatzes analysiert. Dieser Integrierte Datenanalyseansatz erlaubt die signifikante Bestimmung nicht-thermischer Merkmale der Elektronenergieverteilung. Die Ergebnisse zeigen Potential als nicht-invasive Alternative zu Sondenmessungen. Dadurch wird die Untersuchung raeumlich inhomogener Plasmen (Gradientenlaenge kleiner als die Abmessungen typischer Sondenschichten) und Plasmen mit reaktiven Bestandteilen moeglich. Die Diagnose reaktiver Plasmen ist eine wichtige praktische Anwendung, z.B. fuer die Beobachtung und Kontrolle von Prozessplasmen. Darueber hinaus koennte perspektivisch die experimentelle Ueberpruefung von Sondentheorien in magnetisierten Plasmen mit Hilfe spektroskopischer Methoden adressiert werden.
KW  - Dünnes Plasma
KW  - Glimmentladungsspektroskopie
KW  - Gaselektronik
KW  - EEVF
KW  - Emissionsspektroskopie
KW  - Bayes'sche Datenanalyse
KW  - EEDF
KW  - Emission Spectroscopy
KW  - Bayesian Data Analysis
Y2  - 2009
U6  - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:gbv:9-000649-6
UN  - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:gbv:9-000649-6
ER  -