TY - THES U1 - Dissertation / Habilitation A1 - Marbach, Johannes T1 - Quantum-Kinetic Modeling of Electron Release in Low-Energy Surface Collisions of Atoms and Molecules N2 - In this work we present a theoretical description of electron release in the collision of atomic and molecular projectiles with metallic and especially dielectric surfaces. The associated electron yield, the secondary electron emission coefficient, is an important input parameter for numerical simulations of dielectric barrier discharges and other bounded low-temperature gas discharges. The available reference data for emission coefficients is, however, very sparse and often uncertain, especially for molecular projectiles. With the present work we aim to contribute to the filling of these gaps by providing a flexible and easy-to-use model that allows for a convenient calculation of the emission coefficient and related quantities for a wide range of projectile-surface systems and the most dominant reaction channels. N2 - In der vorliegenden Arbeit präsentiere ich eine theoretische Beschreibung der Sekundärelektronenemission in Kollisionen zwischen Atomen bzw. Molekülen und metallischen sowie vor allem dielektrischen Oberflächen. Die zugehörige Elektronenausbeute, der Sekundärelektronenemissionskoeffizient, ist ein wichtiger Eingangsparameter für numerische Simulationen von dielektrischen Barriereentladungen und anderen Niedertemperaturplasmen. Die verfügbaren Referenzdaten für Emissionskoeffizienten sind allerdings sehr spärlich und oft ungenau, besonders für molekulare Projektile. Die vorliegende Arbeit trägt zur Schließung dieser Lücken bei, indem sie ein flexibles und leicht handhabbares Modell zur Berechnung des Emissionskoeffizienten und damit verwandter Größen für ein breites Spektrum von Projektil-Oberflächen-Systemen und die dominantesten Reaktionskanäle bereitstellt. KW - Green-Funktion KW - Nichtgleichgewicht KW - Sekundärelektronen KW - Oberflächenstöße KW - Abregung KW - Neutralisation KW - Secondary Electrons KW - Surface Collisions KW - De-Excitation KW - Neutralization Y2 - 2012 U6 - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:gbv:9-001370-1 UN - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:gbv:9-001370-1 ER -