TY  - THES
U1  - Dissertation / Habilitation
A1  - Ganeva, Marina
T1  - Formation of metal nano-size clusters with a DC magnetron-based gas aggregation source
N2  - Nano-size silver and copper clusters were produced with a DC magnetron-based gas aggregation source. The typical mass of the studied clusters was in the range of 10000 atoms for copper clusters, and in the range of 1000 atoms for silver clusters. The processes of cluster formation, cluster charging and cluster flow were investigated. Technique for measurement of cluster ion velocity distribution functions was developed and applied. Influence of the magnetron target erosion on the mass spectra was systematically investigated and quantitatively characterized. Results of the present work include an experimental and theoretical investigation of the effects, which are of great importance for the production of cluster beams with the desired properties.
N2  - Nanometer-große Silber und Kupfer-Cluster wurden mit einer auf dem DC-Magnetron-Prinzip-basierenden Gasaggregationsquelle erzeugt. Die typische Masse der untersuchten Cluster liegt im Bereich von 10000 Atomen für Kupfercluster und im Bereich von 1000 Atomen für Silbercluster. Die Prozesse der Cluster-Bildung und Cluster-Aufladung und das Ausströmen des Cluster wurden untersucht. Die Technik für die Messung der Clustergeschwindigkeit-Verteilungsfunktion wurde entwickelt und angewandt. Der Einfluss der Magnetron-Targeterosion auf die Massenspektren wurde systematisch untersucht und quantitativ charakterisiert. Die Ergebnisse der vorliegenden Arbeit beinhalten die experimentelle und theoretische Untersuchung der Auswirkungen, die für die Herstellung von Cluster-Strahlen mit den gewünschten Eigenschaften von großer Bedeutung sind.
KW  - Magnetron
KW  - Sputterdeposition
KW  - Cluster beam
KW  - Nanocluster
KW  - Metallcluster
KW  - Magnetron sputtering
KW  - Cluster formation
KW  - Velocity distribution
KW  - Cluster flow
KW  - Cluster charge
Y2  - 2013
U6  - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:gbv:9-001542-6
UN  - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:gbv:9-001542-6
ER  -