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Comprehensive study of the discharge mode transition in inductively coupled radio frequency plasmas

  • In this contribution, the mode transition of an inductively coupled radio frequency plasma at low pressure is investigated. Therefore, a comprehensive set of plasma diagnostics were applied to determine plasma and processing parameters. Therewith, the plasma kinetics and especially the important elementary processes were studied. Hence, the reason for the mode transition was identified.
  • In dieser Arbeit wird der Modenübergang einer induktiv gekoppelten Radiofrequenz Entladung im Niederdruck untersucht. Dazu wurde ein umfangreiches Set aus Plasmadiagnostiken eingesetzt, um Plasma- und Prozessparamater zu bestimmen. Mit Hilfe dieser Parameter wurde die Plasmakinetik und insbesondere wichtige Elementarprozesse studiert und die Ursache für den Modenübergang identifiziert.

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Metadaten
Author: Thomas Wegner
URN:urn:nbn:de:gbv:9-002688-8
Title Additional (German):Umfangreiche Studie des Modenüberganges eines induktiv gekoppelten Radiofrequenz Plasmas
Advisor:Prof. Dr. Jürgen Meichsner
Document Type:Doctoral Thesis
Language:English
Date of Publication (online):2017/01/02
Granting Institution:Ernst-Moritz-Arndt-Universität, Mathematisch-Naturwissenschaftliche Fakultät (bis 31.05.2018)
Date of final exam:2016/12/19
Release Date:2017/01/02
Tag:Modenübergang, Radiofrequenz
GND Keyword:Niedertemperaturplasma, Plasmadiagnostik
Faculties:Mathematisch-Naturwissenschaftliche Fakultät / Institut für Physik
DDC class:500 Naturwissenschaften und Mathematik / 530 Physik