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Bitte verwenden Sie diesen Link, wenn Sie dieses Dokument zitieren oder verlinken wollen: https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:gbv:9-001622-1

On aspects of plasma surface interactions studied by spectroscopic techniques

  • In this work, various aspects of fundamental physics and chemistry of molecular gas discharges are presented with emphasis on the interaction between species, activated by low-pressure plasmas, and surfaces. As already known, synergistic effects of multiple plasma-generated species are responsible for surface modification. However, due to the large number of internal parameters of a discharge and the complex plasma processes the identification of correlations between plasma characteristics and their effects on surfaces are complicated. Therefore, the aim of this thesis is to improve the understanding of several phenomena associated with plasma–surface interactions by measuring or calculating fundamental kinetic, transport or spectroscopic data needed to interpret measurements and hereby, to support some future applications of plasmas.
  • Im Rahmen der vorliegenden Arbeit wurden sowohl physikalische als auch chemische Aspekte von molekularen Entladungen untersucht. Sie konzentriert sich auf Umwandlungsprozessen von verschiedenen Spezies, die durch Niederdruckplasmen aktiviert und von der Oberfläche katalysiert werden. Es ist allgemein bekannt, dass synergistische Effekte von mehreren, im Plasma entstandenen Spezies für die Oberflächenmodifikation zuständig sind. Allerdings ist die Anzahl von internen Parametern einer Entladung so hoch und die Effekte sind generell so kompliziert, dass sogar die Identifizierung der Verbindung zwischen Eigenschaften des Plasmas und deren Auswirkungen auf die Oberflächen sehr aufwendig ist. In diesem Zusammenhang das Verständnis von verschiedenen, durch Plasma-Oberflächen-Wechselwirkungen auftretenden Phänomenen zu verbessern, war das Hauptziel dieser Dissertation. Um eine bessere Einsicht zu ermöglichen werden grundlegende kinetische-, spektroskopische- oder Transportdaten interpretiert. Dadurch können auch mehrere verschiedene Anwendungsmöglichkeiten von Plasmen unterstützt werden.

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Metadaten
Author: Dmitry Lopatik
URN:urn:nbn:de:gbv:9-001622-1
Title Additional (German):Aspekte der Plasma-Oberflächen-Wechselwirkungen untersucht mit Hilfe von spektroskopischen Methoden
Advisor:Prof. Dr. Jürgen Röpcke
Document Type:Doctoral Thesis
Language:English
Date of Publication (online):2013/11/04
Granting Institution:Ernst-Moritz-Arndt-Universität, Mathematisch-Naturwissenschaftliche Fakultät (bis 31.05.2018)
Date of final exam:2013/06/26
Release Date:2013/11/04
Tag:Adsorption, Plasma-Oberflächen-Wechselwirkung, Relaxationskinetik, Wand-Abregung-Wahrscheinlichkeit
Plasma surface interaction, absorption spectroscopy, oxidation processes, plasma diagnostics, quantum cascade laser
GND Keyword:Absorptionsspektroskopie, Fragmentation, Gasentladung, Oberflächenmodifizierung, Plasma, QCLAS, TDLAS, in-situ Diagnostik
Faculties:Mathematisch-Naturwissenschaftliche Fakultät / Institut für Physik
DDC class:500 Naturwissenschaften und Mathematik / 530 Physik
PACS-Classification:50.00.00 PHYSICS OF GASES, PLASMAS, AND ELECTRIC DISCHARGES / 52.00.00 Physics of plasmas and electric discharges (for space plasma physics, see 94.05.-a; for astrophysical plasmas, see 95.30.Qd; for physics of the ionosphere and magnetosphere, see 94.20.-y and 94.30.-d respectively) / 52.40.-w Plasma interactions (nonlaser) / 52.40.Hf Plasma-material interactions; boundary layer effects