Open Access

Die vorliegende Arbeit widmet sich der plasmachemischen Herstellung und physikalisch-chemischen Charakterisierung von dünnen organischen Schichten auf der Basis von Ethylenglykol (Präkursor). Die Oberflächen können die Adsorption von Proteinen minimieren und daher als neues biokompatibles Material getestet werden. Im Schwerpunkt der Arbeit liegt die Entwicklung eines plasmachemischen RF-Reaktors (genannt Nevada) und einer innovativen Beschichtungstechnologie TFPD (Temperature Forced Plasma Deposition) als Erweiterung der PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition). Ein Gemisch aus Ethylenglykol und Argon wurde als Modellsystem untersucht. Die Plasmabedingungen und die Oberflächentemperatur wurden optimiert und an Phaseneigenschaften von Ethylenglykol angepasst. Die komplexe Polykondensation steht für die plasmagestützte Umwandlung der Kondensatschicht zu einem stabilen Poly(Ethylenglykol)-ähnlichen Plasmapolymer. Der Prozess wurde durch die simultane Temperaturkontrolle und in situ FTIR-Spektroskopie analysiert. Zur Untersuchung der erzeugten Proben wurden weitere ex situ Oberflächenanalysen wie XPS, AFM, TDS, MALDI, XRD und die optische Ellipsometrie verwendet. Durch die neue Methode TFPD entstehen extrem glatte, amorphe und wasserunlösliche Schichten mit einem Potenzial für die Biokompatibilität.